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本专利技术介绍了一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法。
氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法依次包括:1、沉积技术及靶材成分的确定;2、基体工件的选择与前处理;3、基体工件悬挂方位的确定;4、真空加热处理;5、预轰击工艺的确定;6、沉积工艺的确定。氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法提高了膜层与基体之间的附着力,同时提高了膜层硬度,并具有良好的稳定性和可重复性。
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