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联系人: 科小易
所在地:广东 惠州市
本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法,本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中,然后加入锌盐粉末,搅拌烘干后得到混合粉末,将混合粉末依次进行压制成型和烧结,制备得到铝掺杂氧化锌靶材,本发明制备方法简单,生产成本低,适合产业化发展,制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。
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