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[00069330]一种飞秒激光刻蚀波导光栅的制备装置及方法

交易价格: 面议

所属行业:

类型: 非专利

技术成熟度: 可以量产

交易方式:

联系人: 西南科技大学

所在地: 

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  1、成果水平及专利情况:本项目针对促酸锂为基底,采用飞秒激光技术根据不同条件刻蚀波导和光栅,形成掩埋式三维光波导光栅器件,为微光学系统的三维集成和降低系统损耗的提供有效途径。已授权发明专利: 2015101176778。

  2、项目内容:山飞秒激光器输出的激光通过光偏振器和分光镜,连续经三个反射镜,再经显微物镜聚焦到能酸理品体内部,通过输入到计算机内的程序控制三维平移台移动来改变焦点在银酸键品体内的位置,并通过旋转精密平台来改变则写的方向使光播与光波导相互垂直,实现光波导以及光糖的刻写:计算机对三维平移台的速度、位置、加速度进行控制,以实现高精度的飞秒激光制备长周期波导光播加工:分光镜分出部分激光到光功率计,实现实时监控激光功率,并使得能够及时调整激光系统以达到刻写所需条件。

  3、成果技术特点(含主要技术指标):由于飞秒激光直写技术具有无需掩模板,具有真三维、设计自由度高、加工精度高等优点,因此通过该技术可以实现定位准确、周期可词,同时,制备光棚能够对多种物理参数进行探测,如温度、折射率、弯矩和扭矩等。

  4、应用范围:该成果属于微光学元件技术领域,利用该设备和方法在多种材料上可制备出各种类型腔等和功能的微光学元件(例如:折射型、衍射型、波导、光纤光糖、微腔等光学元件)

  5、技术成熟度:已从实验阶段成功研制出制备刻写波导光栅的装置。

  6、投资估算及资金来源:预计一次性投800万元,可以实现产值 2000万元,7、市场前景及经济效益分析微光学集成芯片已步入实用阶段,从应用与市场角度看,现在仍处于应用开拓阶段,这类研究在发展微电子、计算机和通讯技术方面具有战略章义,研究的目标已十分明确,发展速度惊人,其市场前景广阔,应用需求量很大,具有重大社会效益和经济效益,由微光电集成系统芯片构成的光互连光交换系统将在光电子信息技术领域中发挥重大作用,该成果已逐步被芯联芯通讯有限公司、九洲光电公司等选用,但是由于数量少,批量生产不足,加上部分产品均句性需要不断改进,如果继续投入一定资金,是可以解决产品均匀性月题。现在该产品正与四川九派光电技术有限公司合作,该公司大量需求该产品。因此,该产品经过商用级装置的原理验证和技术经济论证,采取客户定制方式制造和销售,产品风险极小。

  8、合作方式:专利转让,或技术指导方式合作。

图片.png

  1:飞秒激光器,2:光偏报器,3:分光镜,4:第一反射镜,5:第二反射镜,6:第三反射镜,7显微物镜,8:银酸便品体,9;精密能转平台,10:三维电动平移台,山:光功率计,12:计算机,131第一昵酸锂品体。14:第一光相。15:第一光波导,16:第二银酸领品体,17:第二光播,18:第二光波导。

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