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[00070223]75KW-100KW微波等离子体制备金刚石 膜系统生产
联系人： 武汉工程大学
所在地：
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
超大功率微波等离子体设备是制造大面积高质量CVD金刚石膜的关键，目前国外对国内是禁运的。为了提高国防科技水平，作为高端的新材料代表：CVD金刚石膜，在军事，高端科技应用领域有着广泛的应用前景。本项目通过多年的研发，目前能生产出最大微波功率可达75KW的大功率微波CVD金刚石膜沉积系统（915MHz），最大可升级到100KW，可以制备直径超过120-140毫米，厚度超过2.5毫米的高质量光学级金刚石厚膜。在光学应用，散热领域有着广泛的应用前景。 超大功率MPCVD沉积金刚石膜系统，国内目前还没有能超过45KW的最大微波功 率设备提供。本项目填补了国内的空白，打破了国外在该领域的技术垄断。可以规 模化批量生产该型设备。在大尺寸光学级金刚石膜窗口及批量生产CVD单晶金刚石 方面有着巨大的应用前景。
