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[00070262]超高纯电子化学品制备技术及成套装 置
联系人： 武汉工程大学
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技术详细介绍
技术简介：超高纯电子化学品是指集成电路、半导体器件、平板显示器、太阳能等相关行业用的超高纯湿电子化学品。该化学品主要应用月相关器件制备的清洗、蚀刻等相关工艺。是相关电子行业制备的前端基础原物料。也是当前国家紧缺的原物料。技术指标：本技术成果可以实现数百吨-数万吨相关的全套产线建设的全套解决方案。该技术成果可以覆盖国际半导体协会SEMI-G1-G4级别全套相关技术级别。成品金属指标可以达到10ppt；相关产品覆盖半导体相关需求37种湿电子化学品，包括硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸、氨水、双氧水、IPA、BOE等；先进性：通过多年的研究，相关的电子化学品生产技术可以达到国内先进水平，离开国际顶端技术，仍然差距约1代水平。可以实现满足国内7纳米以下电子化学品相关需求。 电子化学品相关的市场空间400亿元左右。总体国内市场需求400万吨。预期 未来5年市场需求可以达到500亿元，600万吨。目前市场利润率40-200%。技术 含量高，市场容量大，见效周期短，且为国家政府重点支持项目。
