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[00070799]物理表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 非专利

交易方式: 资料待完善

联系人: 中国科学院上海光学精密机械研究所

所在地: 

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路,对光源的实行正弦调制驱动。本发明能对物体表面形貌进行纳米精度的实时干涉测量,测量范围扩展到毫米量级。

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