二氧化硅薄膜均匀性-龙岩市科技创新服务平台

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二氧化硅薄膜均匀性

截止时间：2021-12-01 行业分类：化工生产发布时间：2020-08-31 投入预算：1000 万元联系人：史文健福建龙岩

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需求简介

目前正在开发的二氧化硅薄膜，是生长在4inch蓝宝石衬底平片上，在2um的厚度下，会出现边缘较中间后50-100nm左右；由于此原因导致后期ICP刻蚀需要过刻蚀才能将二氧化硅刻蚀穿