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二氧化硅薄膜均匀性

截止时间:2021-12-01 行业分类:化工生产 发布时间:2020-08-31 投入预算:1000 万元 联系人:史文健 福建龙岩
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需求简介

目前正在开发的二氧化硅薄膜,是生长在4inch蓝宝石衬底平片上,在2um的厚度下,会出现边缘较中间后50-100nm左右;由于此原因导致后期ICP刻蚀需要过刻蚀才能将二氧化硅刻蚀穿

相关需求信息

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