一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统

技术简介： 本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片…… 查看详细 >

一种大面积数字光刻光学系统

技术简介： 本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字…… 查看详细 >

一种大面积投影光刻系统及其对准方法

技术简介： 本发明是一种大面积投影光刻系统及其对准方法。本发明大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准…… 查看详细 >

一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换装置

技术简介： 本实用新型是一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换装置，包括有产生基频光的第一激光器，产生反向传输的激光脉冲序列的第二激光器，第一激光器产生的基频光在光纤中前向传输，产生基模三次…… 查看详细 >

一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换方法

技术简介： 本发明是一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换方法，基频光在光纤中前向传输，产生基模三次谐波，导入与基频光具有相同中心波长的反向传输的激光脉冲序列，控制基频光与基模三次谐波相位失…… 查看详细 >

一种碟状液晶磁场下干涉色产生方法

技术简介： 本发明公开了一种碟状液晶磁场下干涉色产生方法，包括：制备碟状液晶悬浮液；设计液晶干涉色产生装置，至少包括光源、第一偏振元件、第二偏振元件和磁场发生器，光源、第一偏振元件和第二偏振元…… 查看详细 >

一种基于磁光效应的矢量偏振光束调制系统

技术简介： 本实用新型是一种基于磁光效应的矢量偏振光束调制系统，包括激光器、空间光调制器、第一共焦透镜、圆孔光阑、第二共焦透镜、位相型朗奇光栅、磁光效应装置，其中激光器发出的激光经扩束镜后准直…… 查看详细 >

一种激光式自动对焦装置

技术简介： 本实用新型提供一种激光式自动对焦装置，包括激光发射器、光栅镜片、聚焦镜、反射镜、物镜、图像采集装置和图像处理装置，所述激光发射器发射出的激光经光栅镜片过滤，剩余的光速经过聚焦镜形成…… 查看详细 >

一种自动调节焦距的方法

技术简介： 本发明涉及一种自动调节焦距的方法，包括以下步骤(1)激光束高速测量待测试物体到镜片组的距离；(2)转动待测试物体，使激光束打向物体其他部分；(3)系统接收距离信息，该距离为此刻镜片组中心至…… 查看详细 >

一种光纤包层功率滤除器及其制造方法

技术简介： 本发明公开了一种光纤包层功率滤除器，包括待滤除包层光的双包层光纤和热沉，所述热沉内部设有内孔，环绕所述内孔设有水道层，所述热沉的侧壁设有与所述水道层连通的入水口和出水口，所述热沉两…… 查看详细 >

一种导光板下表面一维微结构设计方法

技术简介： 本发明公开了一种导光板下表面一维微结构设计方法，根据区域划分规则对导光板下表面进行区域划分；计算各小区域面积比例；计算区域密度概率函数；在对应区域密度概率函数区段中选取合适的密度概…… 查看详细 >

基于热感生电场诱导流变直写的光栅制造方法

技术简介： 本发明公开了基于热感生电场诱导流变直写的光栅制造方法，栅线掩膜制造装置包括控制系统，热源，接收平台，热电材料，挤出平台，供液装置。光栅制造方法，步骤为1）将该图形结构转换为轮廓数据…… 查看详细 >