一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法

技术简介： 本发明是一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法。包括如下步骤1）建立压电陶瓷驱动器的动态迟滞模型，设计人工神经网络与PID结合的控制方法；2）采用强化学习算法在线实现PID参数的自适应整定…… 查看详细 >

一种高速机构减小残余振动的S型运动曲线规划方法

技术简介： 本发明公开了一种高速机构减小残余振动的S型运动曲线规划方法，该高速机构减小残余振动的S型运动曲线规划方法包括以下步骤根据S型运动曲线的定义，运动分为以急动度G1进行的加加运动速段T1；以…… 查看详细 >

一种基于神经网络的纯碱碳化工艺控制系统及其控制方法

技术简介： 本发明涉及一种基于神经网络的纯碱碳化工艺控制系统及其控制方法，包括神经网络控制器、神经网络辨识器、模型库、微粒群优化器、数据采集通道和碳化塔；数据采集通道实时采集碳化塔的工艺参数值…… 查看详细 >

一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置

技术简介： 本实用新型公开了一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置，包括光源、竖直设在硅片侧面且与硅片垂直的定标板，以及设在光源和定标板之间且用于将光源产生的光线聚焦在定标板上的镜组，还包括…… 查看详细 >

一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置及方法

技术简介： 本发明公开了一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置，包括光源、竖直设在硅片侧面且与硅片垂直的定标板，以及设在光源和定标板之间且用于将光源产生的光线聚焦在定标板上的镜组，还包括用于…… 查看详细 >

一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统

技术简介： 本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片…… 查看详细 >

一种大面积数字光刻光学系统

技术简介： 本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字…… 查看详细 >

一种大面积投影光刻系统及其对准方法

技术简介： 本发明是一种大面积投影光刻系统及其对准方法。本发明大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准…… 查看详细 >

一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换装置

技术简介： 本实用新型是一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换装置，包括有产生基频光的第一激光器，产生反向传输的激光脉冲序列的第二激光器，第一激光器产生的基频光在光纤中前向传输，产生基模三次…… 查看详细 >

一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换方法

技术简介： 本发明是一种基于光纤的准相位匹配基模三次谐波转换方法，基频光在光纤中前向传输，产生基模三次谐波，导入与基频光具有相同中心波长的反向传输的激光脉冲序列，控制基频光与基模三次谐波相位失…… 查看详细 >

一种碟状液晶磁场下干涉色产生方法

技术简介： 本发明公开了一种碟状液晶磁场下干涉色产生方法，包括：制备碟状液晶悬浮液；设计液晶干涉色产生装置，至少包括光源、第一偏振元件、第二偏振元件和磁场发生器，光源、第一偏振元件和第二偏振元…… 查看详细 >

一种基于磁光效应的矢量偏振光束调制系统

技术简介： 本实用新型是一种基于磁光效应的矢量偏振光束调制系统，包括激光器、空间光调制器、第一共焦透镜、圆孔光阑、第二共焦透镜、位相型朗奇光栅、磁光效应装置，其中激光器发出的激光经扩束镜后准直…… 查看详细 >